因半导体机台设备内常使用化学药剂,机台设备所生产之产品又必须要可以转送下一站别,故有了机械手臂这项产品。为了避免机台内的化学药剂对机械手臂产生化学反应,许多厂商已经开始改用陶瓷所生产的机械手臂。
会用在反应器系统内,且电浆或是化学气体有时会在此停留,故在钟罩的材质使用上需特别注意耐酸碱耐腐蚀,因此目前有许多半导体设备上所使用之钟罩采用陶瓷材质,钟罩之外表也可以配合另外覆盖其他金属材质。或本司金属钟罩可做陶瓷表面处理。
压紧环
用于光电业前段制程机台设备中,长期会接触化学药剂,陶瓷材质可避免长期接触化学药剂产生腐蚀的现象。
陶瓷长板/边条/档板/盖板
多用于LCD蚀刻机台设备,机台需长期与化学药剂接触,中间孔洞部分是需锁螺丝,所以它的材质多数必须考量可耐酸碱,抗腐蚀,故目前大多数都采用陶瓷材质。因应机台的需求会产生很多不一样型式,故英亚体育(中国)有限公司样式的陶瓷陶瓷长板/边条/档板/盖板。提供客户客制化的服务,可配合生产各式陶瓷或金属长板陶瓷表面处理。
陶瓷绝缘体/防护盖
会用于LCD蚀刻机台设备,机台需长期与化学药剂接触,因配合机台制程别大小不同,如尺寸较小可做成一体成形,如此寸较大则会制作分段制作截取部分分段图片如左图。
天板
用于LCD蚀刻机台设备,机台需长期与化学药剂接触,天板的大小会因为设备的不同而有所不同,这边可以配合客户需求进行各种尺寸规格的生产。
其他应用